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在今年的未上市一百強中，由於漢微科打敗美商科磊，取得全球半導體電子束檢測設備八成以上的市場，預估今年將獲利兩個股本，是少數被認為有機會挑戰上市新股王的企業之一。

撰文‧林宏文

已於五月二十一日掛牌上櫃的漢民微測科技公司（以下稱漢微科），是國內極少數可以突破國際大廠壟斷，且自行開發成功的半導體檢測設備廠商。由於漢微科今年獲利有達兩個股本的實力，預料掛牌後，將從原本的未上市股王，成為爭奪股王寶座的候選人之一。

後發先至！

吸收科磊大將 反而將之超越漢微科是一九九八年由四位創辦人在美國成立，其中三個人是來自美商科磊(KLA-Tencor)。總經理招允佳原來在科磊就是負責電子束檢測 設備的研發，但因科磊在光學產品檢測設備已占有絕對優勢，因此並未大量投入這個可能取代光學產品的新技術，也讓招允佳決定離職創業。

美商科磊為全球第四大半導體設備廠，更是台灣電子業設備採購的最大供應商之一。不過，科磊如今最後悔的事，就是十四年前讓招允佳離職創業，如今成為威脅科磊的最大競爭者。

招允佳說，當時他把創業想法告訴漢民科技董事長黃民奇，獲得黃民奇的大力支持，因此，他完全沒找過其他人募資，就取得全部的創業資金。「我們就待在美國矽 谷，花了五年時間，終於把產品做出來。」談起黃民奇創辦的漢民科技，在國內半導體與面板兩大產業界幾乎無人不曉。漢民是國內最大且經營最久的設備代理商， 至今已經手超過一萬台設備；因此，雖然漢民科技一直沒有掛牌上市，但黃民奇早已被視為國內設備業的教父級人物。

黃民奇經營設備代理至今已三十五年，但早在漢民科技成立之初，他便有自主開發設備的企圖，因此當他遇到招允佳這個創業團隊時，如獲至寶，於是便積極籌錢投 資漢微科。如今，黃民奇不僅投資漢微科，成功開發出國內第一台「電子束檢測機」，加上漢民科技另外投資的一家公司漢辰科技，也成功為台灣開發出第一台的 「離子植入機」，算是非常難得的成績。

至於目前擔任漢微科董事長的許金榮，早年是與史欽泰、曾繁城及曹興誠等人一起派至美國ＲＣＡ，引進半導體製程與設備技術的核心成員，並曾擔任過台積電副總 及聯電總經理等職務，是國內半導體界的老將。他被黃民奇邀請至漢民科技擔任總經理，同時也擔任漢微科董事長，負起推動設備研發的重任。

不過，設備業的進入障礙很高，漢微科的成長過程也經歷各種嚴厲的考驗。由於半導體客戶對設備精準度要求極高，不可能隨便更換供應商，漢微科必須用實力證明 產品的優異性。而且每個客戶測試時間少說三年、多則五年，也因此讓漢微科成立七年後，業績才開始轉虧為盈，並且在全球電子束的檢測設備市場上，取得超過八 成的市占。

打擊面廣！

幾乎所有半導體公司都是客戶許金榮說，台灣是全球投資半導體最密集的地方，因此台灣市場一直是全球半導體設備商兵家必爭之地。要切入自行研發的設備業，必須與所有公司打仗，競爭非常激烈，漢微科便是在這種環境中成長的。

仔細檢視漢微科的財報，由於前幾年公司都在燒錢，因此最初募集的錢幾乎全燒光。二○○八年漢微科進行過一次減資，把累虧全打掉，資本額從七．八億元減到僅剩一．三億元，減幅達八成以上；之後才再增資，讓公司得以運作下去。

招允佳說，目前在光學與電子束產品的比率，雖然還是有十比一的懸殊差距，但由於電子束的技術可以延伸到二十奈米或十四奈米以下，光學技術的物理瓶頸就很難突破；因此，未來新的產品需求幾乎都集中在漢微科的電子束產品上，這也是漢微科未來最值得期待之處。

其實，科磊早在一九九一年就推出第一部電子束產品，技術大約在○．三五微米。當時科磊創辦人兼執行長李維（Kenneth Levy）就已知道光學的技術會走到極限，因此堅持要盡快開發這項技術；但光學產品事業實在很賺錢，雖然電子束產品已開發出來，卻並未繼續投入研發資金。

半導體產業技術不斷進步，漢微科取代科磊的故事，顯然又是電子業另一個技術取代的案例，大廠忽略了新技術的取代力，反而讓新進者超前。由於漢微科已申請了關鍵專利技術，也就是跳躍式檢測方法，這是目前業界效率最好的方法，也讓雙方的技術差距已有明顯分野。

目前漢微科的客戶遍及所有半導體公司，前三大客戶為台積電、三星、爾必達，除了英特爾尚未確認外，幾乎喊得出名字的半導體公司都是客戶。而且在競爭者技術已追趕不及的情況下，漢微科的領先地位得以確立。

漢微科日前公布第一季每股稅後純益（ＥＰＳ）四．五七元，加上毛利率持續保持在七○％，亮眼的成績，也讓漢微科成為今年未上市一百強企業中，最有機會爭取股王寶座的公司。

漢微科(3658)

股本：6億元

主要股東：漢民科技

經營團隊：董事長許金榮

總經理招允佳

主要產品：電子束晶圓檢測設備

成功 3關鍵

1. 創業團隊擁有專業知識與管理技能。

2. 大股東提供財務、客戶及研發等方面的支持。

3. 有效整合美國研發、中國製造及台灣整體測試與組裝等能力。

智慧型手機能靈敏的感應手指滑動，關鍵就是玻璃面板上那薄薄的一層透明導電膜。要鍍上這層厚度僅約十奈米的膜，必須在完全真空的腔體內進行。

這種精密真空腔體和鍍膜技術，過去全掌握在美商應用材料這類「半導體軍火商」手上，現在，卻有台灣黑手工廠，開始在光電設備嶄露頭角。

它，就是北儒精密，這個原本是銑床、車床的黑手工廠，靠著近十年為日本和美國大廠代工的經驗練功，進軍鍍膜系統；甚至當營收只有近四億元時，就大膽拿出， 相當於全年營收的資金投資擴產。二○一○年終於大翻身，將鍍膜設備直接賣給中國太陽能業者，營收一年內翻五倍，獲利也從前一年金融海嘯虧損八千萬，變成淨 賺逾三億元；需要真空鍍膜技術的薄膜太陽能和觸控面板業的擴產需求，也讓北儒去年營收和淨利雙雙續創新高。

獲利數字雖不驚人，但卻是一家台灣黑手小工廠，大膽成功轉型翻身的故事。

北儒創辦人曾盛烘原本經營的是一家幫紡織業製造軸心和傳動機體設備的黑手工廠。一九九五年，當台灣半導體設備維修、更新需求起飛時，其他機械加工同業紛紛投入半導體周邊管線等零件備品件生產，曾盛烘決定挑有遠景、但也最難走的路——從真空腔體做起。

挑難的做！國防等級技術，零退貨

一般台灣小工廠，做的半導體管線這類零備件單價都只有數千元，但一個真空腔體，售價就要近千萬元，不僅製作難度高，更是半導體前段關鍵的鍍膜、氣相沉積製程的關鍵設備。

真空腔體，等於要把板金折彎、焊接後，再把氣體抽出，除了要兼顧腔體的強度和尺寸精度，還要做到完全真空，焊接的技巧就是最重要的關鍵。北儒多年來承作國防等級防爆門，累積了氣密焊接的經驗，讓北儒有先天的利基，後天又得到工研院協助，輔導其生產真空腔體設備。

「（那時）上千個腔體出廠，從來沒有回過娘家（退貨），」讓曾盛烘越來越有信心。之後，二○○○年，當擴產的面板業，為了節省採購成本而砍設備價格，使得 外國設備大廠開始尋找在地夥伴時，布局真空腔體技術的北儒，終於等到機會，打入美商應材子公司和日本半導體設備大廠。

做到國內真空腔體龍頭，曾盛烘並不滿足，因為光電業前段設備中最有價值的是真空腔體內的鍍膜系統。以一條價值兩千萬美元的觸控面板產線為例，其中鍍膜設備價值就占了近四成。而以一條價值四千萬美元的太陽能薄膜電池產線來說，真空鍍膜設備價值更高達六成。

曾盛烘決定再挑戰鍍膜系統，但這需要更多的資金，以及人才。像製作大型真空腔體的五軸加工機，要價高達上億元，加上員工訓練，從裝機到量產至少要兩年的學 習時間。由於相信北儒製作大型腔體的能力，不僅曾盛烘自己把過去賺的錢，全部投入設備擴產，像是國泰人壽旗下創投基金，也只考慮二、三個月，就成為曾盛烘 的金主。

有了資金，北儒又大舉挖來工業技術研究院前副院長林敏雄、電子所前副所長吳清沂和光電所薄膜元件部前課長黃導陽等大將。○五年起，資金和人才都到位，加上代工累積出知名度，北儒已經準備好跨入鍍膜系統。

搭上商機！賭身家，等到觸控大熱

只是在這個蹲馬步時期，北儒這個「應材小老弟」的成績單還不顯著。雖然○七年起就開始小量出貨自有品牌觸控面板設備給群創和正達等面板廠，但北儒還得先忍受新設備微調期的虧損，即使○八年剛開始小賺，○九年卻又受到金融海嘯餘波的影響而虧損。

不過，隨著觸控面板、薄膜太陽能逐漸成為投資新寵，市調機構Solarbuzz預估，CIGS薄膜太陽能二○一五年的產能，預計較今年成長六成；而全球中 小尺寸觸控面板出貨量，二○一三年預估將達十二億六千萬片，年複合成長率也超過一八％。這個趨勢，讓北儒營收、獲利從二○一○、一一年連續兩年大成長。

「近十年，面板和太陽能產業陸續出現，設備也開始分成小面積半導體晶圓濺鍍和大面積面板和薄膜電池鍍膜，前者就是應材專長，後者就是北儒主攻的領域，」工研院電子所前副所長、現任北儒總顧問吳清沂分析。

北儒搭上了觸控面板和薄膜太陽能業者持續投入設備的商機，但從○五到○八年這段期間，為了切進這塊商機，曾盛烘可是把全部身家賭上，甚至在一○年即將步上軌道前，華威投資的基金要清算出場，他還向銀行貸款，總共拿出兩億元，把華威持股吃下來。

但當時歐債風暴，影響到全球太陽能設備資本支出，曾盛烘自己買下華威股權，堪稱再次賭上自己身家。

賭這麼大，換來近兩年獲利連續創新高，曾盛烘除了看好光電設備前景，也反映台灣中小企業發展過程的壓力與心聲，「做企業，沒法停止，只能不斷擴大，」曾盛烘從黑手出發，敢賭、肯堅持，才有如今從黑手工廠跨入光電重裝設備的轉型之路。

是誰的地位如此之重要，技術如此前驅，所冒的風險之大，甚至連產業龍頭英特爾都無法獨力承擔，還可能讓三個半導體的最大死對頭湊起來聯手合作？它是艾司摩爾（ＡＳＭＬ），這個你可能不熟悉的名字，握著全球半導體進入下一個世代的鑰匙……。

撰文‧楊卓翰

上周五台積電的法說會上，只見滿頭銀髮的張忠謀在台上漫步。面對外資法人的問題，他想表現得輕鬆，然而他嘴裡說出來的話，卻格外謹慎。外資不斷追問的事情，就是荷蘭半導體設備商艾司摩爾（ＡＳＭＬ）的投資案。

七月上旬，艾司摩爾執行長艾瑞克．莫里斯（Eric Meurice）宣布，邀請英特爾、台積電和三星這三家全球最大的半導體廠商，共同投資研發新技術。而且，產業龍頭英特爾已經開出四十一億美元（約一千二 百億台幣）的投資承諾。消息一出，市場開始擔心台積電會被迫跟進，否則將被邊緣化。這讓張忠謀在法說會上澄清「我們很積極地評估」、「台積電不會被迫投 資」。

一年只賣三百台

獨占全球高級機台

這家一般人不太熟悉的公司，究竟有什麼本事，敢同時邀請三個最大的競爭對手聯合投資，還讓張忠謀如此小心謹慎？

總部在荷蘭小鎮維荷芬（Veldhoven）的艾司摩爾，在年報上非常謙虛地介紹自己：「我們是全世界領先的微影設備商（Lithography Equipment）。」實際上，全球前十大半導體製造商，全部都是它的客戶，市占率達三分之二。換言之，艾司摩爾的技術到哪裡，全球半導體的製程就在哪 裡。

微影設備，就是用極微弱的光，將電路藍圖縮小印在晶圓上，是ＩＣ製程中最關鍵的角色。台積電想印出更小、更精確的電路，想做出更大的矽晶片以提升產能，端看微影機能將電路圖縮到多小、拍照面積多大。而艾司摩爾的產品保證每一項都是極限。

過去台積電曾經成功開發出「浸潤式曝光」，可以應用在二八奈米製程，要實現產能，還是得靠艾司摩爾生產的微影機。艾司摩爾的一台二八奈米微影機從八千萬美 元（約二十四億台幣）起跳，包含其他機種，一年平均只生產三百台。聽起來不多，但它去年的營收高達五十六億歐元（約二千億台幣），而且現在下訂單，二年後 才能交貨，可見得全球廠商「搶機台」的情況。

掌握ＥＵＶ技術

一口氣跨三個世代

隨著行動裝置時代演進，要印出更小的電路圖，浸潤式曝光逐漸步入極限。艾司摩爾開發的其中一個次世代方案，就是真空的ＥＵＶ（超紫外光）技術。這種技術最 高可以將線路精準度提升到七奈米，只比一個分子稍微大一點。要達成這種水準，艾司摩爾台灣區總經理劉興凱解釋，祕訣只有「專注和砸錢」。

艾司摩爾從一九九九年開始研究這種遊走在物理邊緣的超紫外光技術，如今已經邁入第二階段的應用。「好幾年的研發，只擠出一點點光！」劉興凱說。但這一點點光所印出的微影，足以改變全世界的半導體產業，目前只有超紫外光最有希望同時達成次世代的精準和效率。

不只如此，艾司摩爾也正在擴大顯影晶圓的面積到十八吋，讓產能提升二．二五倍。更高的精確度、以倍數成長的產能，「我們基本上就是在加速摩爾定律。」劉興凱說，也就是每隔一年半，晶片的產出量增加一倍的定律。

「但摩爾定律不會自然達成，那背後都是一年好幾個Ｂ（十億元）的研發。而且ＥＵＶ不只是下一個世代的技術，我們可以從現在的二八奈米一口氣跳到十奈米，跳 了三個世代。」而這正是吸引英特爾、三星及台積電的超級技術。雖然ＥＵＶ最快在一八年才能量產，但沒有一家廠商願意輕易錯過研發的機會；那個機會，就在艾 司摩爾手上。

不過，如此重要的公司，在台灣卻不太有名。連清大榮譽客座教授李家同都曾投書感嘆台灣年輕人「只知道蘋果，不知道艾司摩爾」。艾司摩爾亞太區公關艾蜜莉 （Emily Leung）就說，公司在台灣沒沒無聞，甚至讓召募人員變得困難：「畢業生都只想進ＴＳＭＣ（台積電），對ＡＳＭＬ卻興趣缺缺。」殊不知，其實艾司摩爾的 全球訓練中心就在台北林口，包括各國的作業員在操作微影機之前，都得先到台灣來受二個月至二周的訓練。

「這不能怪大家。」劉興凱說：「艾司摩爾不是終端消費品，所以跟一般人接觸不多，所以好像很低調。外界自然也對我們有些…（嗯）…誤解。」他所說的，正是市場擔憂台積電若不參與投資，可能會在製程失去先機，甚至被排擠的傳聞。

「這絕對是錯的。」劉興凱澄清，台積電一直都是重要的客戶，不會因為不參與投資而影響台積電產品的時程。「供應商和廠商的合作每天都在發生，例如我們自己 的產品也和蔡司等供應商投資研發。台積電是不可能被邊緣化的。」無論如何，艾司摩爾都是這樁投資案的最大贏家。野村證券分析師Richard Windsor認為，英特爾的注資已經到手，未來艾司摩爾在高階設備上的獨占優勢已然確立。這一場投資案，不論是艾司摩爾或是英特爾等公司，決戰的都是未 來。特別是當未來的窄門只有七奈米之寬時，張忠謀的盤算，得打個更精。

艾司摩爾（ASML）

執行長：艾瑞克．莫里斯（Eric Meurice）

總部所在地：荷蘭

全球員工人數：近一萬名

產品：半導體微顯影設備

近三年營收、獲利： (單位：歐元)

營收 獲利

2011 56億 14億2010 45億 10億2009 15億 -1.5億

已有九十四年歷史的國際遊樂園暨景點協會IAAPA，十一月中旬又將在美國奧蘭多舉辦博覽會，這是全世界遊樂園大亨的派對，以華特迪士尼集團（Disney）為首，台灣參展廠商家數五根手指頭不到。

但智崴科技這家來自台灣高雄的小公司，已連續五年參展，打著自有品牌「BROGENT」，專賣大型模擬體感（編按：藉控制機械模擬人體動作與感受）遊樂設備，可應用在5D模擬劇場、飛行劇院、沉浸式穿梭劇場等，是台灣唯一一家切入全球市場規模三百億美元（約合新台幣八千七百億元）遊樂園產業的公司，還擁有和迪士尼匹敵的專利。

默默耕耘五年，今年是智崴第一個豐收年，全年營收估計約三億五千萬元，每股盈餘預估三元，年底即將上櫃；預估明年營收將倍增。

智崴董事長黃仲銘和總經理歐陽志宏在二○○一年攜手創業，有機械與電機背景的兩人看中當時正要起飛的手機軟體產業，投入3D軟體與數位內容研發，他們和德儀（TI）、微軟（Microsoft）、多普達（Dopod）等公司合作。和大廠合作看似風光，但背地裡智崴根本沒有賺到錢。

曾經，公司瀕危！放手一搏，砸三千萬研發

撐了六年，二○○七年，歐陽志宏和黃仲銘正考慮「收攤」之際，義大遊樂園的新需求消息輾轉傳到黃仲銘耳中。

義大開發副董事長兼總經理楊濟華主導義大遊樂世界規畫時，赴迪士尼樂園考察，非常喜歡「飛越加州」的飛行劇院，這套設備讓遊客乘坐在十公尺的高度俯瞰飛行，球狀螢幕用真實影片投影，乘客幾乎以為自己是從南加州聖地牙哥一路滑翔到北加州舊金山，沿途能感受到微風撲面，行經葡萄園彷佛還聞到泥土和樹葉的清香。

楊濟華想為義大導入類似產品：「飛越台灣」，可是，歐洲廠商卻向他開價三千萬美元（約合新台幣八億七千萬元），如此高價又涉及迪士尼專利，楊濟華決定購買「國貨」，但必須找到能兼顧機械平台與軟體控制的廠商。

黃仲銘想做義大這筆生意，和自己、歐陽志宏，以及多媒體事業處處長賴登鴻在成立智崴之前的本業有關：機械平台的研發製造，主要用於軍方的坦克車或飛機模擬。黃仲銘表示，這類模擬平台最重要的是平台與光學、機電、影像，甚至是無線等系統的軟體整合。過去他們對遊樂園的機械平台也有涉獵，但從沒想過，這個新事業，竟有可能整合自己做過的兩件事：模擬平台與數位內容。

公司瀕危，他們決定放手一搏。「光是飛越加州，我就搭了十次，別人盯著螢幕，我卻回頭在看投影機的角度！」黃仲銘說。經「考察」過各大主題樂園，終於設計出有六軸懸吊式平台，相較迪士尼的二軸舉臂式系統，只有兩個自由度，六軸平台可以搭配的影片內容更多，溫和和戰鬥風格都適用。

二○○七年至二○○九年，是智崴與義大的「周旋期」。為了說服義大，他們投入超過三千萬元研發費用，包括租一廠房蓋起三層樓高的半球螢幕模擬平台原型，從雛形中不斷修正系統問題，確保硬體與軟體的控制穩定與精確度。

現在，訂單滿手！突破迪士尼專利，跨進歐美

黃仲銘表示，每次去義大簡報，義鋼鐵也會派一組人馬參與討論。楊濟華回憶與智崴剛開始的合作，「我剛開始也是怕怕的，很頭痛。」經過兩年的試煉，義大終於給了智崴這筆一億多元的訂單，但要求智崴三年內不得承做國內業務。

兩年的投入，讓智崴得不斷增資，資本額從原本的一千五百萬增加到上億元，股東都是自己的親朋好友，「壓力好大，因為公司已經到了不能倒的地步。」黃仲銘和歐陽志宏拿到義大訂單時又喜又悲，義大的但書讓他們勢必得進軍國際市場才能生存。

「飛越台灣」讓智崴通過市場驗證，最重要的是與全球前三大設備代理商荷蘭Vekoma簽約，由其代理智崴全球的銷售，因此取得IAAPA入場券，開始拓展全球業務，在美國、歐盟、印度、中國申請專利。

第一筆海外訂單是加拿大溫哥華碼頭劇場的「飛越加拿大」。仁盛國際專利顧問公司律師蘇怡仁曾花了兩個月，協助智崴分析、解讀與比對迪士尼專利，然後與該客戶的律師討論，確定不會對迪士尼侵權，「這其實是兩種不同的設計，誰的產品較具競爭力，最後是取決於客戶。」

智崴不是沒有挑戰，面對國際市場，兩個主要對手一是加拿大的Dynamic Structures，另一是德國的Huss，都是歷史悠久的鋼鐵公司，其中Dynamic Structures就是迪士尼飛越加州的代工製造商，三家公司直接在體感劇場競爭。

為了讓滿手訂單付諸實現，智崴在高雄軟體科技園區的研測中心今年六月動土，十一月就要完工，鄰居鴻海的雲端中心還在整地打樁而已。一路走來，智崴不斷以小搏大，成功切入遊樂園產業的藍海市場，為南部軟體業打下立足之地。

今年，台積電、英特爾（Intel）共同投資荷蘭半導體廠艾司摩爾（ASML），整個半導體產業要仰賴這家公司設備，才能讓半導體製造成本降低。

但很少人知道，撐起ASML競爭力的關鍵，其實是一群台灣人，過去十年，ASML從客戶服務開始，逐步把業務交到台灣人手上，今年底，ASML還要找台灣人才到荷蘭，參與最先進的半導體設備研發。

目前，在ASML最高階的台灣人，是ASML全球客戶支援副總裁游智瓊，和全球卓越創新中心總監趙中榛。

游智瓊十年前加入ASML，這家公司分散在全球三千五百台曝光機的維護，全由他帶領的團隊負責。

ASML在客服之後，更逐步把製造移到台灣，七年前，ASML評估中國、新加坡、韓國、台灣之後，決定把新的製造中心設在台灣，這裡是ASML第一次在荷蘭之外，設立研發、製造基地。

「現在ASML所有八吋曝光機都在台灣生產，」ASML台灣總經理劉興凱說，這是ASML當年起家的產品，而且ASML還準備把量測設備等產品的全球製造中心也搬到台灣。

福利、薪水比照當地人

今年在台積電投資ASML後，連最先進的十八吋設備都要找台灣人才一起研發。李忠勳就是其中之一，他今年三十歲，今年剛搬到荷蘭，負責的項目就和最重要的十八吋半導體機台有關。他會出線，是因為他到荷蘭出差時，兩次提出和荷蘭研發團隊不同的看法，兩次都證明，他是對的。「荷蘭人很有趣，他們喜歡聽到不好的消息，」他說，一場會議裡，正面、預料之中的消息都會被放在一邊，反而是出乎預期，失敗的結果會引起熱烈討論。

李忠勳代表一個新階段的開始，今年底，ASML要在台灣找三十個工程師到荷蘭定居參與研發，薪水、福利都比照當地人，這一次，ASML在亞洲只在韓國和台灣找人，台灣人才要掌握半導體技術的尖端，機會又多了一個。